光刻小天地.人生大舞台

吉力

　　1971年7月12日是一个难忘的日子，这天我从一名中学生变成了一名青年工人。呵呵！父亲16岁参加革命，我15岁就参加工作啦。

　　那天在无锡市第十二中学雨操场当工宣队宣布我们班20位同学分到四机部无锡742厂（无锡江南无线电器材厂）以后，我们就被厂里派来的解放牌大卡车拉到位于西郊大王基的742厂，当汽车开到厂门口时一幢漂亮的红砖红瓦苏式大楼映入眼帘。这儿原来是部属无锡无线电机械学校，1968年学校与742厂合并后将这儿改建成了工厂。

　　在这幢生产大楼内有多个生产各种晶体管的前方车间。厂区内有为前方生产车间服务的后方车间，还有食堂、医务所，图书馆、车队、广播站、浴室。毗邻厂区有集体宿舍、家属楼、托儿所、小卖部。我很庆幸自己能在这个大型部属工厂开始我的职业生涯。

进厂后我们这届一百多名新工人在大礼堂（兼食堂）接受了为期一周的入厂教育。有政治学习、纪律教育，安全教育。军代表彭书记还专门给我们作形势报告。他勉励大家到了新的工作岗位要突出政治，积极上进，艰苦朴素、努力工作，早日从思想上加入工人阶级队伍。

学习结束后我被分到东大楼五连（五车间）。五连共有四个前工序班组和中测、烧结、热压、成测四个后工序班组。我分在三楼的605班组（生产大楼照片箭头处），这是一个生产MOS场效应晶体管（CPU的最小单元）的班组。那时一个班组就是一条前工序生产线，有氧化、扩散、光刻和蒸发工序。我分在光刻，整天要在暗室里和显微镜打交道。

车间里是文明生产，油漆墙面，打过腊的地面光亮如镜，工作环境一尘不染。当穿戴上白大褂、白工作鞋和白工作帽那打扮就像医院里青涩的小医生。

605班组有4个大学毕业的技术员（招盛欢、俞纯、刘锦春、蔡建明），8个中专生，5个复员军人，2个文革前进厂的老工人，还有11个近两年进厂的青年工人。开班组会时满满一屋子人。那时候老大学生和中专生都和普通工人一样在生产一线当操作工。我的师傅是班长冯惠金，一位复员军人。

每次光刻都须经过涂胶→前烘→对位曝光→显影→坚膜→刻蚀→去胶等工序。我们新工人要跟着师傅学习每道工序的操作技能。

光刻示意图：

　　那时的光刻设备很简陋，每道工序都是作坊式手工操作。学习先从涂胶开始，安装在有机玻璃操作台内的涂胶机是机械车间自已生产的，光刻胶是师傅们用天平称按比例配制的。涂胶时光刻胶内的环已酮溶剂在高速甩胶时迅速挥发，很快整个光刻间都弥漫着浓烈的光刻胶气味。涂胶看似简单其实是个技术活，胶要涂得均匀，还不能把硅圆片甩出去摔碎，因为每一片硅圆片都经过了许多工序加工，价值不菲。那时的硅圆片直径只有30毫米左右，大概像一枚纪念币那么大。半导体技术经历半个世纪的发展，现在国内最大的硅圆片直径已有12英吋（300毫米），有锅盖那么大。一个芯片可以集成上亿个MOS场效应晶体管。

　　不同尺寸的硅圆片对应不同的集成电路生产技术。当年我们光刻的最小线宽是10微米左右，如今国内光刻水平14纳米，国际水平已是3纳米。

　　光刻间有4台对准曝光的光刻机，其中最好的是一台上海产劳动牌双目镜光刻机，只有老师傅可以使用，其他三台都是本厂自制的单目镜光刻机。我每天在自制的光刻机上学对准。一只眼睛在显微镜下连续看几个小时眼睛很累。但最让人心焦的是工作台上下、纵横和旋转的微调不听指挥，练了两个月还不能掌握复杂图形的对准曝光，我都快没信心了。有一天等大家都去吃午饭时我去那台劳动牌光刻机上试了试，没想到对的又快又准。这才知道自制光刻机工作台微调的机械精度比较差，专业工厂生产的光刻机性能就是好。

对位曝光后的显影是用有机溶剂丁酮和丙酮，这些酮类有机溶剂易燃、易挥发、还有毒性。显影时将一片片硅圆片放在盛满显影液的玻璃培养皿内晃动，挥发出来的有机溶剂气味很刺鼻。

光刻的刻蚀和去胶要接触氢氟酸、磷酸、硫酸、硝酸这类有腐蚀性的强酸。稍不注意酸液溅在工作服上就是一个破洞，沾在手上会灼伤皮肤。那时只有煮硫酸去胶是在通风柜内完成。其它晶体管制造前工序除了几只排气扇没有其它的劳动保护设施。后来的社保规定长期从事光刻工作可以提前5年退休。

70年代初期的742厂由“三支二军”的军宣队领导，那是一个突出政治的年代。各级组织对政治思想工作十分重视，班组有政宣员，车间有大批判小组，厂部有政工组。我们班组分早、中两班，上班前第一件事是政治学习。读语录、读老三篇、读报刊新闻、谈心得体会、开展批评与自我批评。我们青年工人每周还要定期学习“共产党宣言”、“国家与革命”等马列著作。走廊里的黑板报是班组的宣传阵地，每周要紧跟形势更新内容。记得进车间第一天下午就参加了斗批5.16分子戴xx的车间大会，现场气氛很亢奋。班组里北京电校毕业的李xx因为家庭出身地主曾遭到批斗。青年工人早恋，喜欢穿着打扮都会受到严厉的批评教育。

为了提高职工的阶级斗争觉悟，车间请来厂里一位老工人作忆苦思甜报告。老工人是个劳动模范，他个子矮小，饱经风霜的脸上戴一副瓶底般厚的高度近视眼镜。他文化程度不高，只能用最简单的语言讲述他在旧社会当学徒受资本家剥削的经历。他说“他当学徒时每天很早就要起床给老板做家务，没有工资，老板给饭吃还是蛮有良心的”。现场一片愕然。

有一天车间还专门组织大家在西大楼吃忆苦饭。每人一个硬梆梆的窝窝头，再配一碗没盐没油像猪食一样的麸皮菜汤，为的是让大家体验旧社会老百姓过的贫苦生活。

我参加工作第一年的学徒工资是每月14元，第二年是16元，两年满师。70年代是计划经济，吃的用的都要凭票供应，一块上海牌手表凭票要120元钱，满师前家里用我一年的工资给我买了一块瑞士进口手表。那时候提倡艰苦朴素，没满师时手表都不敢带，深怕引起不必要的非议。我们男青工穿军装、挎个军用挎包上班是最时髦的打扮。

　　每当有重要活动时军宣队会在大礼堂召开全厂职工大会，有传达中央文件、有形势报告、有生产突击动员大会。每次开全厂大会的主角都是军宣队负责人厂党委彭夫林书记。他是解放战争时期参加革命的海军军官。个子不高，皮肤黝黑，讲一口标准的唐山话。作报告时侃侃而谈，风趣幽默。他平易近人，经常晚上来车间了解生产一线的工作情况，他能记住许多职工的姓名，是一个口碑很好的领导干部。

到了四季度为了完成全年的军工生产任务，军宣队动员全厂职工加班加点、突击生产。车间由原来的早中两班8小时工作改为两班12进12出。我们青年工人12点下班以后还要政治学习。人的生物节律完全被打破，睡眠严重不足。班里有个一起进厂的光刻女工每天步行上下班路上要化三个多小时，回家一般只能睡几个小时。光刻需长时间在显微镜下工作，眼睛容易疲劳。有一天在回家的路上因为太困，走着走着瞌睡了，结果撞在路边的树上嗑破了脸。

1973年7月中央发出《关于抓革命、促生产的通知》以后各种生产突击活动就更加频繁，如十月国庆献礼、年终突击提前完成全年生产任务、大战红五月一个接着一个。12进12出改成了7进7出。“大战红五月”成了厂里每年的传统生产活动。

为了提高产品成品率，厂里安排我们班组的师傅带上我们几个青年工人去上无14厂（现上海贝岭微电子）学习取经。那时兄弟厂家没有竞争意识，互相学习，互相交流是很平常的事。为了节约住宿费，我们住在厂里在上海的定点旅社“军工路招待所”。它地处杨浦区的郊外，是一趟公交车的终点站。我们每天早晨要坐一个多小时公交车横跨大半个上海城区去上无14厂实习。到了星期天大家就去外滩看风景，逛南京路、淮海路。这是我参加工作后的第一次出差。上海这个大都市给我留下了深刻的印象。

七十年代的上海淮海路，每天都有很多像我们这样的外地人在逛商店。

70年代外滩。

七十年代外滩的灯光秀很前卫，名符其实的海派大都市。

　　1973年十月我满师了，第一年是一级工，第二年升二级工，工资36.3元。俗称咪啦咪。每天有0.15元营养券，食堂供应的饭菜品种丰富，每次化2毛钱可以吃一顿荤素搭配的午餐。

食堂旁边有医务所，职工有小毛小病就在医务所就医配药，如果需要去市属挂靠医院看病只要在医务所开一张计帐单，所有费用由厂里统一结算。那时候每个职工和子女都享受免费医疗待遇。

厂里有文艺宣传队、蓝球队、乒乓球队。厂篮球队在无锡市小有名气，经常有其他单位的球队前来挑战。每次比赛都吸引了许多职工前来观战。厂里还经常组织蓝球比赛和象棋比赛，这些文体活动丰富了职工的文化生活。

我业余时间喜欢看小说，吹口琴，弹吉他，听唱片。还学会了照相、洗印相片。尽管那时候物质生活贫乏，但兴趣爱好多，生活充实，是个内心丰富有个性的青年工人。

十七八岁正是长身体的时候，为了增强体魄，经常天没亮就起来练长跑。我家住在工农兵广场旁（现在的五爱广场），沿锡恵路经过锡惠桥、油泵厂、市一中，从锡惠公园门口左转到青山湾、轻院、荣院、河埒口，再从湖滨路经过纺机厂、721厂．742厂到水车湾和人民西路，跑这么一圈将近10公里，需要1个小时左右。记得从锡恵桥到锡惠公园这一段马路是方型马蹄石路面，跑在上面很硌脚，从青山湾到大王基是没有马路牙子的简易柏油路，尤其青山湾这一段路边有粗大的梧桐树，茂密的树叶档住了路灯的亮光使这段马路显得特别幽暗。清晨空荡荡的马路上没有几个行人。只有路灯下我那跑步的身影和啪啪的脚步声。

1973年无锡市区1-12路公交示意图。

满师留念

　　1974年上半年全国开展了批林批孔运动。车间紧跟形势组织批判“三字经”和“千字文”中的孔孟之道。此前经过文革的荡涤此类书籍在社会上已基本绝迹。车间大批判小组组织我们抱着厚厚的中华字典一字一句注释，弄清楚每个典故的出处和主题思想，然后有针对性地写批判文章。

朗朗上口的《三字经》《千字文》是中华民族的传统启蒙教材。它用最浅显易懂的文字介绍中国传统文化。其内容涵盖文学、历史、哲学、天文地理、忠孝节义、伦理道德各个方面。它宣扬的是“仁，义，礼，致，信”的儒家思想。通过这么一番注释、批判，我反而觉得自己学到了许多历史知识，明白了做人做事的行为准则。虽然其中有一些不符当今时代的糟粕，但更多的是我们中华民族传承了数千年的历史文化瑰宝。

　　厂里的青年工人都是基干民兵，有一年夏天我参加了市人武部组织的为期两周的高射四管机关炮训练。训练营在惠山脚下，每天在烈日下训练体能消耗很大。有一天休息时回到营房，拿起杯子倒上酸梅汤就大口的喝起来，大半杯下肚感觉嘴里怎么有小东西在动，吐出来一看全是蚂蚁，再仔细看杯子的酸梅汤里有许多蚂蚁在挣扎。原来是先前喝过酸梅汤的茶杯里爬进了许多蚂蚁。我喝下那么多蚂蚁应该补充了许多蛋白质。

吃完晚饭大伙都去路边买西瓜解暑，大家围着瓜农挑瓜、买瓜。有人乘瓜农不注意用脚像盘带足球那样往外拨西瓜，后面的人看到心领神会捡了就走。旁边其他摊位的瓜农看到后不敢吭声，赶紧挑起瓜担就走。那时的西瓜只要几分钱一斤，但小青年的恶作剧有点欺负“乡下人”的感觉。

训练结束时我们的考核成绩优秀，带教我们的人武部教官称赞我们说“你们工厂的民兵真厉害，部队里农村战士要训练几个月的科目你们一个多星期就能达标”。民兵训练很锻炼人，集体生活也很开心。遗憾的是没能参加后来在上海东海边的实弹射击。

　　1976年沈元权技术员从车间二楼的503班组调到我们班组负责设计、试制CMOS集成电路。他在大方格纸上绘制好光刻版图，我们年轻人眼睛好使就帮他用手术刀在红膜上雕刻制版照相用的光刻图形。那时我已经是班组里光刻的青年骨干啦。

　　我们班组先后开发了18个CMOS电路产品，其中15个通过鉴定并投入试生产，3个产品试制出样品。尽管这些产品大都是简单的门电路，一块集成电路最多集成十几个场效应晶体管，但从生产单个晶体管发展到生产小规模集成电路已有了质的飞跃。

742厂的科研生产能力相继吸引了南京工学院等多所大专院校前来开门办学。和这些前来实习的师生接触多了心里也有了想上大学的心愿。虽然厂里每年有1、2个保送上大学的名额。但全厂有69、70、71、72四届几百名青年工人，上大学只能是一个美丽的梦想。

我读过俄国思想家普列汉诺夫“论个人在历史上的作用问题”一文，对文中那句“偶然性是一种相对的东西，它只会在各个必然过程的交叉点上出现”印象深刻。机会和命运都具有偶然性的特征，当那个交叉点出现前必须有那个“必然过程”。因为机会往往留给有准备的人，从此我开始了一段业余自学生活。

先从数学和英语开始。去市图书馆办了借书证，借一些适合自己的教材。然后自己看教材做习题。星期天去小娄巷上门请胜利门中学的陈老师辅导英语，晚上抽时间请无线电工业学校的老师辅导数学。偶尔在上班空睱时会把教材放在抽屉里偷偷地看一会儿，有一次被车间党支部王俊云副书记看到，她以为我上班看小说，正要批评时发现我看的是英语课本，她笑了笑说“不要影响工作”就走了。那两年还阅读了一批非公开发行的政治书籍，作了许多摘要和笔记。当时要借到这些书还真不容易。

　

　　自学数理化的过程既困难又枯燥，没人辅导缺乏系统性，效率也不高。

1977年7月17日，在党的十届三中全上邓小平第二次复出。党中央在八月的“科学与教育工作座谈会”废除了此前“群众推荐、领导批准”那一套招生办法，1977年10月12日，国务院批转了教育部《关于1977年高等学校招生工作的意见》，决定从1977年起，高等学校招生采取自愿报名、统一考试、择优录取的办法，恢复了在“文化大革命”期间被废止的高考制度。

消息传来我既兴奋又忐忑，兴奋是终于有机会可以试试，忐忑是担心自己考不好。那次全厂连我只有五个人报名参加高考。

江苏省规定1977年的高考分二轮进行，11月28—29日初试，12月23—25日复试。第一轮考生30万名，进入第二轮的有5万人。厂里就我一人进入第二轮复试。第二轮考试那天天气阴沉沉的，但组织科的老戴同志还陪我一起到考场。这让我很受感动。

1977年的高考场面。

　　最后江苏省30万考生达线率为5.1％。录取的大都是老三届和应届高中生。意料之中我落榜了。

我们这一代被文革耽误得太多，该上学的时候学校停课。虽然躲过了上山下乡，却过早地分配工作，失去了在学校更多地学习书本知识的机会。没考上大学我并不沮丧，我相信在工作中一样可以成长，只要坚持学习，后面一定还有机会。

1978年那个偶然与必然的交叉点出现了。8月15日我在光刻历练了七年以后进入厂职工大学半导体专业带薪学习。厂职工大学就办在厂对面的无锡无线电工业学校内。

　　这是七十年代初重建的无锡无线电工业学校。

　　无线电工业学校教学楼、宿舍楼和操场一角。

　　根据从那儿来回那儿去的分配原则，经过近三年的专业知识学习，也许我在光刻这片小天地还将续写人生新的篇章。