南阳市一中高中生对光刻技术的研究

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　　2019年以来，美国和中国之间发生贸易摩擦，进而演变为贸易争端，特别是高精尖技术方面，对中国进行种种打压、限制。

　　光刻技术是芯片行业的基础，更是受限严重，中国找不到纳米代工厂家，很多设计领先产品被迫下线。高中生加强对光刻技术的研究，具有现实意义和时代使命。

我们的研究目的：

初步了解光刻技术的概念和原理，明白光刻技术的现状和发展趋势，对光刻技术的实际应用做到心中有数，并对光刻技术的发展、应用等方面提出建议或意见。

课题组分工：

李星元：课题组长，负责研究方向和内容，完成开题报告，制定实施计划及步骤，归纳研究成果，撰写论文。

李紫菡：收集资料，制作问卷、开展问卷调查、访谈调查等，记录活动日志，制作易拉宝、美篇等。

姜开喜：搜集文献、归纳资料，制作总结PPT

刘胜利：收集资料，完成总结报告和成果展示，完成课题组管理日志，制作小视频。

仝轩昊：收集资料，开展问卷调查、访谈调查，对调查结果进行总结分析。

研究步骤：

第一，提出问题，选课结组，明确分工，完成开题和立项。

第二，查阅资料，搜集素材，确定调查问卷内容。

第三，发放问卷，开展调研，整理结果、分析，形成研究学习成果。

第四，分析总结，完成结题报告，进行多种形式展示。

研究结论：

1、光刻技术的概念和原理。

光刻技术是一种精细加工技术，是制作芯片的基础，其主要工艺包括光复印技术和刻蚀工艺等

2、光刻技术现状和发展趋势。

光刻技术作为集成电路的一项重要工艺，是光刻机发展的重要推动力。在过去六十多年的发展中，光刻技术产生了多个分支，也形成了极高的技术壁垒。

3、光刻技术的应用。

主要应用在微电子中。在整个芯片的制造工艺中，几乎每个工艺的实施，都离不开光刻技术。

4、对光刻技术的发展和应用提出建议。

抢抓良好的发展机遇；促进关键技术新突破；大为培育光刻技术产业链；营造良好的竞争环境。

研究收获：

1. 培养了团队的合作精神、不断创新意识和动手实践能力。

2. 成员养成了发现问题、研究问题、解决问题的研究性学习方法。

3. 不足之处，需要继续研究，进一步实践、求证。

致谢：

作为一名南阳市第一中学校学生，特别感谢学校为我们提供研究性学习的机会！感谢学校综合实践管理中心及李鹏岚老师的大力支持！感谢家长们在背后对我们的默默支持！