清华大学重大突破，极紫外波段且这种光源的最直接应用就是EUV光刻机，这是制造高端芯片必要的光源

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近日，清华大学正式宣布，其物工系在研究新型加速器光源“稳态微聚束”的过程中，发现一种新的粒子加速光源，波长覆盖太赫兹到极紫外波段，且这种光源的最直接应用就是EUV光刻机。光刻机是利用光源能量、形状控制手段，将光束透过刻着集成线路图的掩模，经过光学补差后，将线路图印在硅片上。其本质就是对特定波长的光源进行高精度利用。光刻机所使用的光源有激光、紫外光、深紫外光和极紫外光，而EUV所使用的就是极紫外光，因为他的波段足够短，具有更好的成像效果，也是制造高端芯片必要的光源。目前，仅ASML公司掌握了极紫外光，这也是他能垄断EUV光刻机市场的最重要原因。随着我国对EUV光刻机的深度研究，ASML公司对极紫外光的技术垄断或将成为历史。