扶桑正是春光好，心随东棹忆华年"一一赴日本大分实习40周年追忆

吉力

40年前的来日记念

　　中日两国一衣带水，历史上日本文化深受中国文化的影响。但由于二战时期日本的侵华战争给中国人民带来了巨大的灾难和损失。战后中日两国关系跌入冰点。1972年田中角荣首相破冰访华建立了中日外交关系，1978年两国政府又缔结了中日和平友好条约，从此中日在外交、文化和经济等领域展开了广泛和全面的交流与合作，中日关系正式进入蜜月期。在这种大背景下国家为了提高人民生活水平决定引进国外先进技术发展中国彩电工业，经过地方政府和厂领导的不懈努力我们江南无线电器材厂（四机部所属742厂）争取到了电子工业部彩电集成电路制造技术引进项目。我有幸在1981年2月27日随第二批实习团赴日本东芝公司学习集成电路制造中的光刻技术。

　　无锡市江南无线电器材厂（原第四机械工业部所属742厂）

　　初春的二月天气还有点冷，26日下午我们实习团一行50多人离开无锡前往上海。第二天上午乘10点10分的飞机经2个半小时的飞行到达东京成田机场。随后入住品川的东武HOTEL。由于是周末日方27、28、1号三天没有安排活动。我们可以分组外出活动和采购这几天的食物。采购的食品大部分是快速面、面包、牛奶和鸡腿之类的方便食品。刚到东京这样的大都市什么都感到新鲜，这儿的街道整洁，商店里的商品琳琅满目，人们彬彬有礼。

　　

　　东芝（TOSHIBA）是日本最大的半导体制造商，亦是第二大综合电机制造商，隶属于三井集团旗下。

3月1日我们参观了NHK（日本放送协会）和东芝科技馆。这张东芝科技馆前的合影是我们团到日本后的第一张也是人员最齐的一张合影。我在第二排中间。

　　东芝科技馆位于东京著名观光胜地“台场”地区，每个展厅都有讲解员以及志愿者进行现场讲解，并与观众进行多种互动实验，使参观者在亲身体验尖端科技的同时，思考科技的意义并展望科技的未来。

　　3月2日（星期一）团里安排自由活动，我们去了东京中央区的银座观光游览。银座号称“亚洲最昂贵的地方”，这里汇聚了世界各地的名牌商店，是日本时尚的象征，也是日本最繁华的商业区。

晚上东芝公司为我们举行了隆重的欢迎晚宴。东芝公司的高层都参加了。实习团王士法团长致答谢词，他对东芝公司的真诚合作和热情招待表示衷心感谢。（很遗憾我没有王团长致词的照片）

　　3月3日我们离开东京，从羽田机场乘机前往位于九州东部的大分县大分市。我们将在那里的东芝公司大分工厂开始我们的实习生活。当晚东芝公司大分工厂在我们入住的西铁HOTEL为我们举行了隆重的欢迎晚宴。

3月4日一早我们在大分实习的四十二位团员前往位于大分市郊外的大分工厂，工厂为我们安排了工厂附近两处住所（寮）。我住的这幢二层小楼，有十几个房间。每个房间可住2个人，睡的是日式榻榻米，每天起床后要将铺盖收入壁厨以保持室内整洁。楼内有公共浴室和卫生间，还有一个大大的带厨房的餐厅兼活动室。

照片中央的长者是这幢房子的主人，这儿平时住着大分工厂的单身职工。现在暂时腾出来给我们实习团住，主人和他的妻子负责楼内公共部分的清洁和管理。我们工作日的一日三餐在工厂的食堂用餐，休息日大家轮流买菜做饭，我们可以品尝到许多各具特色的厨艺。

　　当天我们参观了大分工厂。大分工厂是东芝公司生产集成电路的主要工厂，工厂建于1970年，有1400多名员工，有两条4英吋超大规模集成电路生产线和一条3英时大规模集成电路生产线。厂区宽畅整洁漂亮，厂内有职工食堂和卫生室，有体育馆，还有一个大大的足球场。很有现代工厂气息。工厂每年生产一亿多块MOS集成电路。比当时我们一个国家全年的总产量还多。看资料介绍至2019年这儿仍是日本最大的65纳米集成电路制造工厂。

我们中国实习团是在第三制造课（车间）实习，这是工厂为我们实习保留的最后一条3英吋生产线。等我们实习结束这儿马上会改造成更先进的4英吋生产线。

实习的第一天是安全教育，工厂有严格的安全制度，包括在厂区内的行走都有明确的标识。他们按1.：29：300原则管理安全生产。根据统计规律显示如果有300次轻微事故苗子就可能发生29次小事故和1次重大事故。因此各部门必须严格遵守安全操作规程，细到严格管理每一个人的操作动作。杜绝任何事故苗子的发生。

实习需按工艺流程每道工序轮流上岗操作实践。同时由技术主管讲授工艺原理和工艺试验方法。教授怎样制定每道工序每种设备的工艺参数、怎样提高工艺质量、怎样保证生产工艺的重复性和一致性。每一块集成电路的生产要经过成百上千道工序，只有保证了每道工序的工艺质量才能生产出高质量的集成电路产品。技术引进除了购买生产技术和设备还要学习他们的管理经验。我们国内的工厂当时都是条线管理，一个前工序班组只能生产几个同类半导体器件，氧化、扩散、光刻、蒸发工序齐全，生产效率低。而东芝的生产车间是以工序为基本管理单元，一个车间可以生产不同工艺的几百个品种。这种大生产模式生产效率高。相比较我们的产品技术人员是多面手，日本的工艺技术人员是专家，他们可以把每道工序的每一件事都做到极致，他们的敬业精神和团队协作意识给我留下了非常深刻的印象。有许多东西是金钱引进买不到的。

这是在大分工厂实习的全体成员与日方管理层的合影

　　在实习过程中我们每天要和日方的工程技术人员接触交流，要和每台机器上的工人师傅一起操作设备。长期在一起工作我们逐步建立起了良好的师生关系和师徒关系。有时候我们会在休息日邀请日本朋友来我们住所做客，请他们品尝我们做的中国料理。加深彼此间的友谊和了解。这是我们邀请光刻的技术主管荒田先生和几位光刻女工来住所作客。

　　实习生活是紧张的，但业余生活也是丰富多彩的。周末和星期天大家可以在餐厅里看电视，听音乐。也许是当年受日本文化的影响至今我仍喜欢看日剧，听山口百惠的歌，关心日本政局和两国关系走向。

大分县的旅游资源很丰富，可以春赏樱花夏赏海、秋观红叶冬赏梅，阿苏山火山口、战国熊本城、别府温泉等景点享誉日本。

这是我们光刻小组全体在别府游览高崎山自然动物园时的合影。

　 别府以温泉产业出名，全市拥有超过200个公共温泉，而泉眼之多和泉质之丰富也是世界上屈指可数的。约有2700处温泉泉源遍布于市区约50平方公里的范围之内。厂方组织我们游览过海地狱（温泉）、血地狱和龙卷地狱，高崎山自然动物园、猴山和生态水族馆等多个著名景点。

和于保良老师在别府温泉合影留念。

和郁序胜老师在别府温泉合影留念。

和工模具的戴品荣老师在别府温泉合影留念。

和铝合金工序袁克明等老师在高崎山自然动物园合影

　　四月初是日本樱花盛开的季节，12号是个星期天，这天第三制造课的工程技术人员和我们实习团在工厂附近的樱花林举行了赏樱野餐联欢。双方都准备了许多本国特色的方便食品。大家围坐在樱花树旁的草地上尽情地畅谈喝酒唱歌。日本的清酒口味清淡不会喝酒的也能来上几口，但当你放松警惕开怀畅饮后酒劲就会上来让你飘飘欲仙。在日本企业内部等级制度严格，但下班后同事们相约喝酒彼此则比较随意。那天王士法团长一个人应对十几位日本友人轮流敬酒，最后王团长醉了，日方也倒下一大片。

这是我们光刻小组在赏樱联欢时表演小合唱。

这是我们和日本的光刻师傅在一起畅谈喝酒。

照片中左1是光刻的班长北民先生。

　　这是星期天在工厂的体育馆打蓝球和乒乓球。

在大分工厂每当吃过午饭休息的时候，你会看到许多人在厂区内散步和跑步，职工非常注重体育锻练，我们光刻的主管技术员荒田先生每天中午都要和同事在足球场打棒球。身材棒棒哒！

　　大分工厂主要生产MOS集成电路，我们引进的双极彩电电路主要在北九州工厂生产。北九州一直是日本最主要的工业城市和港口城市之一。

6月21日上午我们坐火车去北九州。中午在小苍一家叫八仙阁的中餐馆吃了一顿可口的中餐。下午去了市中心的商业街，晚上入住北九州工厂俱乐部。

第二天我们参观了北九州工厂，由于工厂是建在市内，厂房比较老也没有大分工厂那么宽畅。大家分别在车间现场和的日方技术人员进行了答疑交流。晚上回大分。

　　实习的日子过的很快，转眼四个月的实习生活即将结束。临分别前大家有点依依不舍，光刻工序集体给我们每个人赠送了记念品，还为我们画了漂亮的卡通画并附上每个人手写的临别赠言。他们的真诚让我们深受感动。

光刻的员工大部分是高中毕业的女孩，平时穿超净服戴着口罩只有眼睛露在外面，在一起工作了几个月很少有机会看到她们的真容。这些都是光刻各工序员工和我们分别前的留念合影

　　7月4日大分工厂第三制造科为我们举行了欢送晚宴。我为大家即兴唱了一首《花儿为什么这样红》。

7月6日东芝公司本部在大分工厂为我们实习人员举行了修了（结业）仪式并给每个人颁发了修了证书。中午离开大分工厂时许多日本朋友赶来送行，大家挥手告别。有些女工还流泪了。场面非常感人。再见大分工厂！再见朋友们！我们不会忘记在这儿的实习生活。

中午大分工厂在别府市为我们饯行。席间我又唱了一段京剧《智取威虎山》中的唱段。

今日痛饮庆功酒，

壮志未酬誓不休，

来日方长献身手，

甘洒热血献春秋。

表达了我回国后要为集成电路事业多作贡献的决心和愿望。

晚上我们从别府乘海轮前往神户。

　　这是在别府港黄兰芳副团长和我们光刻全体团员的合影。

这是大家离开別府时在海轮前的合影留念

　　坐海轮从别府到神户尽管是沿近海行驶但许多团员还是晕船吐了。经过一个晚上的航行我们在清晨到达神户。上午参观了市里的一个博览会，中午乘坐新干线前往京都 。这是第一次体验新干线高速列车。坐新干线从神户到京都只要2个小时就到了。

　　在京都我们游览了平安神宫和清水寺。

平安神宫是位于日本京都府京都市的神社，明治28年（1895年）为纪念桓武天皇平安迁都1100周年而创建，平安神宫的建筑有着明显的中国唐代建筑的风格。是京都的主要名胜地。

　　与郁序胜老师在京都清水寺喝清泉水祈福。

清水寺（Kiyomizu Temple）是日本佛教法相宗（北派）的本宗，位于京都市内东山区的清水，占地面积达13万平方米，始建于778年。是京都最古老的寺院，寺内有一瀑布，名音羽瀑布，流水清洌，终年不绝，其清泉分为三个部分，据说每个部分都有神奇的力量，分别为长寿、智慧、健康，游客经过此地都会喝上一口祈福平安。 该清泉被列为日本十大名泉之首，清水寺的寺名也因此而来。

在京都游览了平安神宫和清水寺以后我们又乘新干线高铁回东京。仍旧入住品川的东武HOTEL。

　　和同室四个多月的朱政孝翻译在东武宾馆。

　　这是我早年在无锡的朋友高先生来东武宾馆看望我们。高先生的母亲是一位典型的日本妇女，她为人友善礼貌。我跟高先生学过吉他，他一直像老大哥一样给过我许多帮助，是我的良师益友。那时候高先生已回到他母亲的故乡发展，我和他在异国他乡重逢真的是朋友之间的缘份。让人不可思议的是过了15年（1996年）我在上海机场候机去丹麦哥本哈根，他在旁边一个登机口候机回日本，这时我们在茫茫人海里又相遇了，我不得不赞叹这种巧遇。我们在人生的长河中和每一个人的相遇相识都是一种缘份。都应该好好珍惜。

　　回到东京团里放了两天假让我们自由活动。我们去了横滨港。

　　这是在横滨街头，那里有一条著名的中华商业街。

　　这是和团员们在东武HOTEL门前合影留念。

7月10日日方安排我们去游览了著名的的富士山景区和箱根游乐园。

富士山被日本人民誉为“圣岳”，是日本民族引以为傲的象征。富士山山体高耸入云，山巅白雪皑皑，放眼望去，好似一把悬空倒挂的扇子，因此也有“玉扇”之称。富士山作为日本的象征之一，在全球享有盛誉。凡到日本旅游的游客都会去看看这座美丽的神山。

我在箱根游乐园第一次上了海盗船。船模仿被海浪高高抛起然后猛的坠落，感觉整个五脏六腑都在下坠，很刺激！当时可不是每个人都敢上船当＂海盗＂的。😄😄

7月11日是我们回国的日子，中午无锡藉旅日爱国华侨蔡世金老先生在我们回国前为我们饯行。蔡老先生是一位传奇式的爱国华侨，上个世纪三十年代22岁只身去日本打拼，打过工做过厨师开过餐馆，二战结束后在东京从事房地产开发成为旅日华侨富商。他一生爱国在家乡无锡投资建设了多所学校，其中最著名的就是无锡侨谊幼儿园和无锡市少年宫。只要有家乡的代表团访日蔡先生都要尽地主之谊款待无锡老乡。

下午16点30我们乘机返回上海，圆满完成了为期四个多月的实习任务。在回无锡的大巴上，我们个个都很兴奋，我给大家唱了好几首歌曲和样板戏，真的是一路欢笑一路歌。

　　感谢厂领导的信任和培养，感谢实习团各位老师的关心和帮助。回国后我担任了光刻的技术主管。和大家一起完成了引进线的建设任务。同时在引进消化吸收的前提下不断地提高了光刻的技术水平，我和光刻的技术人员一起开发了3um正胶工艺并成功用于64K大规模集成电路的研制。开发的聚酰亚胺多层布线工艺成功替代了原先引进的OCD多层布线工艺。获得了电子部科技进步三等奖。这些都是当时国内领先的光刻水平。

今年的2月27日是我们前工序实习团赴日实习40周年的日子，当年我是实习团中最年轻的一员，我总想做点什么来记念那段时光。今天我借用美篇这个平台完成了这个夙愿。这里不用华丽的词藻，没带任何色彩。只想用最朴实的文字和真实照片记录40年前在日本大分工厂的实习生活，再现中日友好交流佳话。

2021.02.27定稿于无锡