举国之力助推光刻产业链！光刻机第一股华卓精科即将上市科创板！

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一、华卓精科欲上科创板

上交所官网显示，光刻机双工件台生产商北京华卓精科科技股份有限公司已进入受理阶段，这意味着该公司在科创板上市路程上再进一步。招股说明书显示，华卓精科主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍生产品的研发、生产以及销售和技术服务，目前属于国家鼓励类产业。资料显示，公司目前是国内首家自主研发并实现光刻机双工件台商业化生产的企业，其生产的光刻机双工件台，打破了ASML公司在工件台上的技术垄断。

公司是国产高端光刻机龙头企业上海微电子的双工件台产品及技术开发的供应商。公司与上海微电子长期保持良好的合作关系，共同进行 IC 前道光刻机核心技术的研发和 IC 前道光刻机产品的生产，为国产光刻机崛起奠定了基础，占据了中国商用光刻机双工件台的主要市场份额。而上海微电子研制的 90nm 高端步进扫描投影光刻机已完成整机集成测试，并在客户生产线上进行了工艺试验，是我国 IC 前道光刻机龙头企业。 光刻机主要由工件台、投影物镜和光源三大核心子系统件组成。资料显示，光刻机作为前道工艺七大设备之首（光刻机、刻蚀机、 镀膜设备、量测设备、清洗机、离子注入机、其他设备），价值含量极大，在制造设备投资额中单项占比高达23%，技术要求极高，涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术。

我国的光刻机关联概念股又有那些呢？

上海微电子：光刻机整机研制和系统集成

上海微电子是新型光刻机的总体牵头单位和总装集成单位，2017年4月公司承担的02专项浸没式光刻机关键技术预研项目通过验收，目前正承担28nm节点浸没式分步重复投影光刻机研发任务。

华卓精科：浸没式超精密双工件台

华卓精科由清华IC装备团队成立，近期正在筹备科创板上市。按公司官网介绍，公司的核心战略产品光刻机双工件台，打破了ASML的技术垄断，成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。

2018年9月21日收到国家科技重大专项财政资金1.39亿元，用于“浸没式光刻机双工件机台产品研制与能力建设”和“浸没双工件台平面光栅位置测量系统研发”。

启尔机电：浸液系统

启尔机电孵化自浙江大学，2018年底在杭州投资建设光刻机浸液系统产品研制与中试基地封顶。

国科精密：光学系统（光源和物镜）

2018年3月3日，由国科精密承担的国家科技重大专项“高NA浸没光学系统关键技术研究”项目在上海通过了任务正式验收，会议要求全力做好28nm节点ArFi光刻机曝光光学系统研制。同时应用单位上海微电子也出席了验收会。 万业企业

公司与上海御渡达成投资意向，将对其实现战略投资，进一步拓展集成电路测试设备领域。万业企业通过布局集成电路测试设备领域，进一步完善公司在集成电路领域的纵向产业链，强化旗下集成电路产业项目形成协同效应。

据了解，上海御渡是国内首家中高端集成电路测试设备公司。公司研发的测试设备贯穿于芯片制造全程，充分应用在芯片设计验证、晶圆检测、封装环节成品测试等重要环节。未来随着国家集成电路战略的实施以及中国集成电路设计制造行业的崛起，上海御渡在集成电路测试设备领域将拥有着非常广阔的市场。

2018年，在集成电路国产化的机遇背景下，万业企业引入国家集成电路产业基金作为股东方，支持公司转型成为集成电路装备和材料公司，推动万业企业旗下的凯世通集成电路离子注入机的产业化应用。同时，公司在积极布局集成电路装备领域时，发起并参投了上海半导体装备材料基金（参股19.8%），通过基金先后投资了掌握双工件台核心技术的公司华卓精科（持股2.08%）、半导体光学检测设备领域公司新加坡STI、国产装备材料上市公司飞凯材料、上海精测、紫光控股等细分行业的优质企业，投资标的全面覆盖到集成电路设备及材料等重要领域。

因此，万业企业入股上海御渡，将进一步继续巩固公司在集成电路领域的战略转型，填补国内集成电路中高端测试设备的空白领域。

张江高科

全资子公司持有上海微电子装备(集团)股份有限公司 10.779%的股权。上海微电子近期在光刻机领域实现技术突破。

东方中科

近日,东方中科在投资者互动平台表示,北京科益虹源光电技术有限公司确为公司客户,已向其供货。科益虹源是国家02重大专项“准分子激光技术”成果的产业化载体,开展浸没光刻光源的关键技术攻关以及产品开发,实现6kHz重频下60W的激光输出功率,进入国际上最高端的DUV光刻光源产品系列。

上市公司2019年年报显示,公司实际控制人国科控股直接持有北京科益虹源光电技术有限公司19%的股权,且公司控股股东东方科仪控股董事王琪先生亦担任科益虹源的董事,科益虹源为公司的关联方。

东方中科作为我国通信测试行业龙头企业,专业从事仪器销售、仪器租赁及系统集成业务。由于通信测试在5G发展的受益的程度远高于3G/4G时代,5G将是未来的基础设施,通信测试则是这一过程的刚性需求,必然长时间受益。随着未来5G时代通信测试行业的市场空间将放量增长,相关上市公司将明显受益。

公司作为中科控股的控股孙公司,强大的股东背景为公司发展提供了技术、资本上的双重保障。在近年来并购政策利好频出背景下,作为中科控股旗下的重要上市公司平台,东方中科将充分借助上述资源,以内生增长和外部并购为手段,有望通过测试进入快速增长的硬科技产业,实现跨越式增长。

奥普光电

奥普光电是国内国防用光电测控仪器设备的主要生产厂家，生产的光电测控仪器设备主要用于新型装备配套、现有装备升级换代或国防科学试验。主要客户为从事相关产品生产的军工企业和国防科研机构。公司将不断增强已有技术优势，在光机电一体化设备领域引领市场需求，努力成为我国光电测控领域规模最大、综合实力最强的企业。

北京国望光学引进战略投资者长春中国科学院长春光学精密机械与物理研究所和中国科学院上海光学精密机械研究所。重推进13.5nm极紫外EUV国产光刻机的研发进程。而长春光机所和上海光机所就是国产光刻机的国家队。可以说，国望光学就是国家研发光刻机的载体，标准的国家队。

目前国望光学的董事长兼法人代表孙守红。是长春光机所的所长助理，而目前奥普光电的董事长是长春光机所的所长贾平。另外， 奥普光电是长春光机所唯一的上市公司，且刚刚经历了重组失败，现在承诺一个月内不进行重组。 赛微电子

公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发和晶圆制造服务。

国家集成电路基金在定增募投"8英寸MEMS国际代工线建设项目"中认购超12 亿。"8英寸MEMS生产线"是国家集成电路发展规划实施的重要任务之一，是国家重点推进的战略新兴产业，公司未来MEMS业务发展将持续受政策扶持。

根据CCID的统计数据，2018年，我国MEMS传感器市场规模达到504.3亿元，成为全球MEMS市场发展比较快的地区。由于近年来硬件创新市场逐渐转移国内，中国市场对于MEMS器件的需求增速远高于全球MEMS市场增速。耐威科技把握市场机遇，围绕核心业务MEMS加速发展，加大研发投入。

晶方科技

荷兰光刻机巨头ASML公司为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要的客户之一。

晶方科技主要专注于传感器领域的封装测试业务，拥有多样化的先进封装技术，同时具备8英寸、12英寸晶圆级芯片尺寸封装技术规模量产封装能力，为全球晶圆级芯片尺寸封装服务的主要提供者与技术引领者。封装产品主要包括影像传感器芯片、生物身份识别芯片等，该等产品广泛应用在手机、安防监控、身份识别、汽车电子、3D传感等电子领域。

晶方科技是CMOS领域领先的封装供应商。公司在经营情况中披露，针对影像传感芯片市场，公司积极把握手机三摄、四摄等多摄像头机遇，以及安防监控的持续稳定增长与智能化升级，扩大业务规模与市场占有率。2019年，公司外销、内销产品的毛利率同比分别增长了9.04%、16.16%。

上海新阳

公司购入的Nikon205c光刻机用于配套FRF后膜胶开发，ASML1400光刻机配套ARF光刻胶开发。

半导体用电子化学品是公司的核心业务，上市前，公司的业务主要聚焦在半导体封装用电子清洗和电子电镀化学品两大方向。上市后，公司的业务进行了适度延伸，进入到前道晶圆制造领域。

公司的业务可以分为传统封装用电子化学品、晶圆制造用超纯电子化学品。其中晶圆制造用超纯电子化学品又可以分为前道制程用电子化学品和先进封装用电子化学品。目前公司的绝大多数主营收入是来自于传统封装市场，业绩增速最快的是前道制程用电子化学品，先进封装用电子化学品产业有爆发式增长的机会，但是市场需要时间进行培育。无论是封测化学品还是晶圆化学品，技术壁垒高，认证周期长，需要不断进行技术升级以满足下游客户的需求是相关产品的特点。目前公司的相关产品均已在内资晶圆代工厂及部分外资晶圆生产企业通过了验证，但整体市占率还较低，销量的提升可能还需要有一个过程。

18年12月，公司以人民币5600万元受让宜兴博源投资有限公司持有的博砚电子公司10%的股权。博砚电子成立于14年7月，主要从事平板显示产业用相关光刻胶产品的生产和销售。仅仅经过4年的发展，公司就成功完成了黑色光刻胶（BM）的产业化生产，黑胶产品已被国内主流面板生产厂商京东方、华星光电、中电熊猫、天马、上海仪电、莱宝高科列入合格供应产品，开始了批量采购。彩色光刻胶及正性光刻胶已经完成开发，准备开始客户测试及量产准备。

蓝英装备

公司控股子公司UCM AG为荷兰光刻机巨头ASML公司提供精密清洗解决方案。UCMAG在积极向欧洲、中国、美国等地区拓展业务

公司提供技术与服务的主要对象为广大工业领域的主机厂商及零部件制造商,主要面向高度自动化、清洁度要求高、工艺复杂的行业,包括电子、通讯、机械、医疗、光学、汽车、航天航空等。在欧洲中高端产品市场占比排名第一,在北美和亚洲也处于市场领先地位。 福晶科技

公司曾通过欧洲代理向ASML提供极其少量光学元件。

公司是全球非线性光学晶体龙头，享誉世界的“中国牌晶体”：公司深耕激光产业链上游元器件领域，主营产品包括晶体元件、精密光学元件和激光器件三类，其中晶体元件板块中的LBO、BBO 等非线性光学晶体市占率稳居全球第一，非线性晶体也是目前公司最重要盈利点。公司下游客户包括德国通快、美国相干、光谱物理、国内大族激光、锐科激光等激光产业中的龙头企业，已形成了稳定的长期合作关系。公司品牌“CASTECH”已在全球激光界树立起高技术、高品质、优质服务的市场形象，被业内誉为“中国牌晶体”。

雅克科技

雅克科技为国内有机磷阻燃剂龙头企业，依靠科技创新，内生发展保温材料业务，成为国内唯一LNG保温绝热板材生产制造商。随着半导体材料出现历史性机遇，公司开始了又一次的转型之路，通过并购华飞电子、科美特、江苏先科，雅克科技成功切入半导体封装材料、电子特气、IC 材料等领域，实现了在半导体材料业务端的快速布局与发展。

阻燃剂业务有望恢复，LNG保温绝热板材订单持续增长：受“3.21”响水化工园区爆炸事件的影响，公司阻燃剂产能缩减，传统业务短期承压。但长远来看，有机磷阻燃剂市场需求稳定，环保安全监管倒逼市场份额向龙头聚集，公司的阻燃剂业务有望在产能恢复后迎来新一轮的增长。LNG保温绝热板材方面，公司陆续与沪东中华造船厂、江南造船厂等公司签署多笔大额订单，业绩规模不断扩大。

产业转移叠加国产化政策，半导体材料平台型公司充分受益：科美特是国内含氟特种气体的龙头企业，业绩发展稳定，盈利能力较高；UP Chemical主营SOD与前驱体材料，填补国内空白，下游客户需求稳定增长；华飞电子是国内球形硅微粉最大供应商，多年经营积累了丰富的技术优势与客户优势，半导体材料平台型公司的战略布局趋于完善。随着半导体工业第三次产业转移的进行，以及集成电路相关领域国产化政策的不断加码，国内半导体材料市场扩容在即，公司有望充分受益，实现跨越式发展。

“并购+投资+整合”战略稳步推进，并购标的整合顺利，产品结构不断改善：截至2019年底，公司并购标的中，科美特、华飞电子的业绩承诺已经实现，韩国UP Chemical的技术和资源已经开始引入国内市场，在宜兴建设国产化生产基地，并逐步开始供应国内客户，并购标的初步实现顺利整合。2017年至2019年，随着并购标的业务并表，公司传统阻燃剂业务的营收占比不断下降，电子特气与半导体前驱体逐渐成为公司的支柱业务，产品结构不断改善。 菲利华

国内石英材料行业的领军企业，已在国际市场上崭露头角。公司是国内高端石英材料行业的领军企业，致力于航空航天、半导体、太阳能、光纤通讯、光学等高新技术领域的配套服务。公司现已发展为国内外具有较大影响力和规模优势的石英材料及石英纤维制造企业，是全球少数几家具有石英纤维批量生产能力的制造商，是国内航空航天等国防军工领域唯一的石英纤维供应商，也是国内唯一一家通过国际三大半导体原产设备商认证的石英材料企业。

国内唯一军用石英纤维供应商，将直接受益于航空航天领域的高速发展。公司是国内唯一具有军工资质的石英纤维供应商，产品广泛用于机载雷达罩、航天器隔热和耐高温结构上。国内3187 架军用飞机与美国13398 架的数量差距巨大，大量现役J-7、J-8 等二代机面临升级需求，石英纤维在战机雷达天线罩总体成本中约占45%，未来国内军用飞机列装、换装将带来大量的石英纤维市场需求。我国航天领域进入高速发展期，2018、2019 年宇航任务发射次数位列世界第一，预计2020 年全年火箭发射次数将大幅增加至50 次以上，航天器隔热、耐高温部件对石英纤维及其制品的需求将显着增长。

半导体、光通讯行业景气上行，有望受益于核心石英原材料供应商的地位。2020 年全球半导体市场销售额将增加至4480 亿美元（+5.9%），在全球半导体产业景气向上、国内半导体产业的快速崛起的情况下，国内石英材料的需求将会被大幅拉动。5G 网络架构下光纤使用量将是4G 网络的16 倍，5G 商用启动后三大运营商光纤采购量大幅增加。公司石英棒是长飞光纤的主要供应商，在日本市场的占有率高达70%。

精测电子

公司08年切入面板模组检测，14年向前、中段AOI检测和OLED市场扩张，18年发展半导体和新能源业务，19年半导体业务实现营收469.6万元，上海精测获得大基金投资，电镜设备预计20年投放市场；新能源业务19年获得过亿订单，实现收入1398.3万元。三次跨越帮助公司业务不断扩张，形成“显示、半导体、新能源三位一体”业务布局。

公司四大业务，AOI光学检测系统/OLED调测系统/信号检测系统/面板自动化设备，营收占比分别为39.4%/34.9%/16.2%/6.7%。19年公司研发投入收入占比达14.0%，研发员工占比45.5%，毛利率47.3%，净利率13.3%。

面板检测设备投资结构性变化，OLED产线集中投资保障检测设备需求稳定：随着大陆LCD产能饱和，未来本土检测设备公司机会集中在OLED集中投资带来的增量空间和LCD前、中段设备更新的国产替代空间。根据测算，2020-21年国内面板检测设备投资分别为314/474亿元，合计达788亿元，其中LCD前、中段更新市场国产替代空间达253亿元，OLED增量市场空间达521亿元，OLED产线集中投资保障未来面板检测设备市场需求稳定。

半导体检测设备国产替代加速，新能源业务市场广阔：半导体前、后道检测设备占半导体设备投资比重10%和9%，19年国内半导体检测设备市场规模181亿元，其中前道95亿元，后道86亿元。目前本土厂商在前道膜厚、电镜市场初露锋芒，后道检测中分选机、测试机的已实现部分国产替代。随着新能源汽车行业发展，锂电池和燃料电池检测达标已成为新能源汽车企业准入条件，目前锂电池检测增量空间年均超50亿元，燃料电池检测处于蓝海市场，空间广阔。

南大光电

5月27公司公告称，公司承接的国家“02专项”之“ArF光刻胶产品的开发和产业化项目”的基础建设按计划进行；2019年底完成一条生产线的安装，正在调试阶段。

2020年4月，公司采购的用于检测ArF(193nm)光刻胶产品性能的光刻机运入宁波南大光电工厂，5月开始进行安装调试，预计安装调试需要4-5个月的时间。公司制备ArF(193nm)光刻胶用的高纯原材料来源于自主研发，研制出的ArF(193nm)光刻胶样品正在供客户测试。目前“ArF光刻胶开发和产业化项目”正处于光刻胶样品验证阶段，验证过程预计需要12-18个月，甚至更长的时间。ArF(193nm)光刻胶产品开发技术突破难度大、工艺要求高，且实现稳定量产周期较长，后续是否能取得下游客户的订单，能否大规模进入市场仍存在较多的不确定性。

南大光电的主要产品MO源在国内外LED市场处于领先地位，是欧司朗、科瑞等跨国公司的重要供应商。近年来，公司的电子特气产品，借力公司在LED行业的领先优势，取得了国内第一的市场份额，并且已成功进入集成电路行业，打破了一直依赖进口的局面，得到了客户的高度认可。